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日前，中科院光学细密机械取物理研究所研制成功了高精度小型三轴气浮台，为进一步斥地细密机械加工新范畴创制了优良前提。取国内同类产物比拟，具有精度高、体积小、承载机能好、靠得住性高、加工周期短等长处。
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